现邀请到美国North Carolina State University的教授Gregory N. Parsons来复旦做一个ALD技术基础及应用方面的讲座，欢迎大家积极参加。Prof. Gregory N. Parsons是ALD领域的专家，也是目前国际ALD会议的两位组织者之一，详细内容见附件。
题目： Atomic Layer Deposition：Fundamentals and Applications
时间: 10:00-11:30 am
日期: Jun.5th (Wednesday)
地点: B213, Microelectronics Building (邯郸校区)
